0 引言
    干涉型光纤传感器因其稳定性好、灵敏度高和测量范围广等优点[1]受到科学界关注，并广泛应用于温度[2，3]、应变[4，5]、折射率[6]、压力[7]和震动[8]等多种物理量的测量。其中，温度和应变的测量在生物医学检测、大型飞行器件的健康监测和石油勘探等领域有着广泛的应用。
       目前，针对传感器的研究多是单一变量的传感测量，而实际环境并不是简单的单一变量，交叉敏感问题无处不在。近年来，对于双参数测量传感器的研究也受到了研究者的青睐。2014年，Qiqi Yao等人将光纤布喇格光栅（FBG）与偏芯结构结合，制作了温度折射率同时测量的传感器[9]。2015年，卞继城、郎婷婷等人提出在单模光纤上分别熔接两个球形结构，并在单模光纤中间熔接一段细芯光纤构成马赫-曾德尔(MZ)干涉传感器，通过不同干涉波长的灵敏度不同实现温度和应变双参数同时测量[10]。2016年，曹晔、赵月等人设计了MZ结构级联FBG构成的光纤磁场传感器，由于FBG对磁场强度不敏感，利用敏感矩阵可实现温度和磁场强度的同时测量[11]。2017年，胡义慧、郭小珊等人利用波长为800nm的飞秒激光脉冲在普通单模光纤上加工一个微腔，把光纤拉成一个锥形光纤，与普通单模光纤熔接在一起，构成一个MZ干涉仪，实现温度和应力同时测量[12]。本文采用40%浓度的氢氟酸腐蚀Corning公司的SMF-28单模光纤端面，制作出光纤法布里-珀罗（F-P）结构，将其与过熔接制作的MZ串联，制得温度和应变双参数同时监测传感器，并对其温度和应变传感特性进行测试分析。

4 结束语
    本文设计了基于氢氟酸腐蚀的光纤F-P级联MZ温度和应变双参数实时监测的传感器，并对本传感器的温度和应变传感特性进行了实验研究，建立了传感器温度及应变和光谱波长之间的数学模型，通过其传感系数矩阵便可以同时监测外界温度和应变双参量变化。本文设计的双参量传感器结构简单，制作成本低，能很好地解决应力和温度的交叉敏感问题，在航空航天、生物医学检测以及大型建筑健康监测等方面都具有重要的应用价值。