0 引言
       目前，传统电子式声传感器由于有源特性，不适合在强电磁场干扰、易燃易爆等特殊复杂环境中应用[1，2]，除此之外，电子式声传感器还会产生弱电模拟信号，不适合远距离传输。
       20世纪90年代以来，出现的光纤麦克风是一种新型的光纤声传感器[3,4]，它是利用外界声压引起的光纤内传输光参数的变化，通过对声调制的光信号的检测和解调，达到还原声音信号的目的。光纤声传感器具有抗电磁干扰、体积小、结构简单、灵敏度高和频带宽等优点，特别适用于强电磁干扰、易燃易爆等恶劣环境。目前，比较常见的光纤麦克风有反射式强度型和干涉型。干涉型光纤声传感器与强度型光纤声传感器相比，具有更高的灵敏度，可以监听到更微弱的声音震动，捕获更多的敏感声音信息，且具有较强的抗环境干扰能力，不同环境下使用均可保证一定的声音还原准确度[5]。2003年，Bing Yu等人提出一种利用全石英构成的膜片式光纤声波传感器[6]，其灵敏度可达到0.0035 nm/Pa，并成功应用于变压器局部放电监测以及涡轮机风扇健康监测中。2010年，Holger J Konle等人[7]提出了基于Fabry-Perot干涉的光纤麦克风，对麦克风探头进行了良好的封装，能最高在1400 K的高温下用于热声测量。2013年，香港理工大学的靳伟等人提出了基于多层石墨烯薄膜的Fabry-Perot干涉型声传感器[8]，其灵敏度为1100 nm/（kPa），可用于0.2~22 kHz频率范围内的声音监测。2016年，华中科技大学的吴锋等人提出了一种基于3×3耦合器相位解调的光纤声音传感器[9]，该系统可以准确有效地还原出设计带宽内的声音信号，适用于电磁恶劣等应急环境中。为了进一步提高传感器声压测量的灵敏度，本文提出一种体积小的膜片式光纤麦克风。

4 结束语
      本文介绍了一种基于EFPI结构的光纤麦克风，它采用镍金属膜片作为换能器，将声音信号转化为EFPI腔长的变化进行测量和解调。该光纤麦克风的信噪比较高，具有良好的线性声压响应度，且低频范围内频率响应度较为平坦，可以用于测量低频声音信号。