引用本文:

张玉,田贺,卢敏,等. 基于Ag-Ta2O5双侧抛磨U型PCF-SPR折射率传感器[J]. 光通信技术,2026,50(2):18-25.

基于Ag-Ta2O5双侧抛磨U型PCF-SPR折射率传感器

张 玉,田 贺,卢 敏,钟普凡,何 晏,习述宇,唐 剑*

(广西师范大学 物理科学与技术学院,广西 桂林 541004)

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摘要:为解决现有光子晶体光纤表面等离子体共振传感器制备复杂、检测范围受限的问题,设计一种基于Ag-Ta2O5双侧抛磨U型光子晶体光纤表面等离子体共振(PCF-SPR)折射率传感器。该传感器通过常规抛磨工艺构建U型槽,槽内依次涂覆纳米Ag层与Ta2O5保护层以增强纤芯模式与等离子体模式耦合,采用有限元法进行数值仿真优化。仿真结果表明:当折射率检测范围为1.16~1.36时,最大波长灵敏度达25 500 nm/RIU,振幅灵敏度达736.86 RIU-1,理论分辨率达3.92×10-6 RIU。

关键词:光子晶体光纤;表面等离子体共振;波长灵敏度;振幅灵敏度;折射率传感器

中图分类号:TN256 文献标志码:文章编号:1002-5561(2026)02-0018-08

DOI:10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2026.02.004

本文主要探讨了光子晶体光纤表面等离子体共振(PCF-SPR)传感器的设计、优化及其性能分析。以下是对文件核心内容的总结:

  1. 研究背景与动机

    • PCF-SPR传感器:因其高灵敏度、抗电磁干扰等特性,在折射率检测领域受到广泛研究。

    • 现有问题:多种结构提升传感性能,但制备工艺复杂、成本高、传输损耗大或检测范围受限。

    • 研究目的:设计一种基于Ag-Ta₂O₅双侧抛磨U型PCF-SPR传感器,解决现有问题,降低成本,提高灵敏度。

  2. 传感器设计与基本理论

    • 结构设计:通过常规抛磨工艺构建U型槽,槽内涂覆纳米Ag层与Ta₂O₅保护层,增强纤芯模式与等离子体模式耦合。

    • 材料选择:Ag具有低成本和高共振吸收系数,Ta₂O₅具有高热稳定性和化学稳定性,保护Ag膜并提升灵敏度。

    • 理论模型:采用有限元法进行数值仿真,定义波长灵敏度、振幅灵敏度和分辨率评估传感器性能。

  3. 结构参数优化

    • 气孔间距Λ:优化为1.8 μm,实现波长灵敏度10,000 nm/RIU,振幅灵敏度736.86 RIU⁻¹。

    • 大圆孔直径d₁:优化为1.40 μm,平衡波长灵敏度和光谱分辨率。

    • 小圆孔直径d₂:优化为0.90 μm,提高波长和振幅灵敏度。

    • 抛磨深度L:优化为0.20 μm,增强纤芯模式与表面等离子体模式耦合效率。

    • Ag层厚度t₁:优化为30 nm,平衡表面等离子体共振效应和倏逝场能量传输效率。

    • Ta₂O₅层厚度t₂:优化为20 nm,防止Ag氧化,同时保持高折射率调制效率。

  4. 性能评估与对比

    • 检测范围:1.16~1.36 RIU,呈现明显共振峰偏移。

    • 灵敏度:最大波长灵敏度达25,500 nm/RIU,最大振幅灵敏度达736.86 RIU⁻¹。

    • 分辨率:理论分辨率达3.92×10⁻⁶ RIU。

    • 线性响应:在1.16~1.23区间呈高度线性关系,决定系数R²=0.9999。

    • 性能对比:综合性能优于多数同类传感器,实现高灵敏度和宽检测范围。

  5. 制备工艺优势

    • 工艺流程简单:常规光纤抛磨机双侧抛磨,无需高精密设备辅助二次加工。

    • 设备成本低:相比化学蚀刻、飞秒激光加工等方法,成本更低。

    • 可重复性高:工艺稳定,适合大规模生产。

  6. 应用前景

    • 生物分子相互作用分析:高灵敏度检测生物分子浓度变化。

    • 化学试剂浓度监测:实时监测化学试剂浓度,确保生产安全。

    • 环境污染物检测:快速检测环境中的污染物,保护生态环境。

论文通过系统优化传感器结构参数,提出了一种兼具高灵敏度、宽检测范围与低成本制备优势的PCF-SPR传感器,为折射率敏感型应用场景提供了新的解决方案。