0 引言
      基于表面等离子体激元（SPP）的金属-绝缘体-金属（MIM）波导作为光波导的潜在分支，由于其易于集成在芯片上，且具有弯曲损耗低、传播长度大、亚波长限制深和制造相对简单的优点，因此受到广泛研究[1-8]。近年来，基于MIM波导与谐振腔耦合的微纳光子器件已在光通信、光传感中体现出潜在的应用价值。例如：吕桓林等人[9]提出了工作波长在890 nm 的狭缝波导聚合物基微环折射率传感器，其传感器的灵敏度为109 nm/RIU；石悦等人[10]提出耦合开口方环空腔结构，通过改变开口方环空腔的长度和开口大小调节共振波长，其灵敏度为1600 nm/RIU；祁云平等人[11]设计了一种乙醇密封共振腔MIM波导传感器，其温度灵敏度和折射率灵敏度分别为0.9 nm/℃和2400 nm/RIU；LI Z等人[12]提出了一种基于多重Fano共振的折射率传感器，其结构由侧耦合的半环腔和直波导构成，折射率灵敏度为1405 nm/RIU；MAHDIYE R等人[13]提出了一种具有锥形缺陷的环形谐振器波导结构传感器，通过在环形谐振器中引入缺陷来优化传感特性，其折射率灵敏度为1295 nm/RIU；LIU X等人[14]在LI Z研究基础上提出了D形谐振腔耦合波导传感器，该结构的最大折射率灵敏度为1510 nm/RIU；徐思宇等人[15-18]提出了2个纳米腔体分布在直波导两侧耦合的MIM波导、齿轮型谐振腔、T型狭缝和双矩形谐振腔等具有多种复杂结构的多腔体MIM波导传感器。但上述报道中基于MIM波导与谐振腔耦合的SPP传感器，要么传感灵敏度过低，要么加工难度过大。因此，设计灵敏度高、制备相对简单的SPP传感器依然是研究人员面临的一个挑战。
　　本文提出一种谐振腔嵌入银纳米棒的高灵敏度SPP传感器，其结构由MIM波导与嵌入银纳米棒的谐振腔耦合构成。

5 结束语
       本文提出了一种谐振腔嵌入银纳米棒结构的SPP传感器，系统研究了其折射率与温度传感特性，该器件可实现微纳尺度的折射率及温度的传感测量。仿真结果表明：通过在纳米环中嵌入银纳米棒能控制和改变有效折射率，这有利于制造出常规纳米环不能实现的新的SPP模式。本文提出的结构会出现4种SPP模式，环境折射率的变化会引起SPP模式的漂移，作为折射率传感器件其灵敏度高达2116.72 nm/RIU, 比普通纳米环结构的灵敏度提高了1.82倍，FOM达27.503。与其它文献报道的类似设计相比，本文提出的SPP传感器最突出的优点是易于调谐、结构紧凑和灵敏度高，对设计高灵敏度纳米级折射率温度传感器具有一定指导意义。