0 引言
       随着传感器的发展趋于小型化，微小空间的温度检测逐渐成为研究的热点。近年来出现的微纳光纤布喇格光栅（MNFBG）传感器具有抗电磁干扰、不易受腐蚀和尺寸极小等优点，可用于色散补偿、折射率传感和多参量测量等方面。MNFBG的制备有将光栅写入微纳光纤[1-4]和对光纤布喇格光栅（FBG）进行微纳加工[5，6]2种方式。寇君龙等人[2]在锥尖直径为5 μm的纯石英锥形光纤一侧使用聚焦离子束法刻蚀出周期性的凹槽，凹槽周期为1.1 μm，深度为1.6 μm，制得的MNFBG的温度灵敏度达22 pm/℃。Susana Silva等人[3]使用熔融拉锥的方法制备锥形光纤，并在锥形光纤的125 μm和50 μm直径区域使用飞秒激光器分别写入光栅，实现温度与氢气浓度的同步测量。K Schroeder等人[5]使用侧边抛磨的方法加工FBG，得到的FBG包层仅有0.5 μm，用于折射率的测量，并在未抛磨的位置用FBG测量温度的变化，除去温度的影响。A. Iadicicco等人[6]通过化学腐蚀的方法，腐蚀FBG的包层，被腐蚀的FBG为圆柱状，直径为7.5 μm，由于薄包层的FBG对外界折射率敏感，从而实现温度与折射率的同步测量。上述的MNFBG传感器尺寸达到微米级别，可以应用于较小空间的温度检测，但是微米级的尺寸限制了可测量的微区大小。为了获得更小尺寸的MNFBG传感器，本文使用化学腐蚀法腐蚀FBG，制备出具有圆锥形尖端的MNFBG探针。

3 结束语
       文采用化学腐蚀法成功制备了MNFBG探针。通过实时监测FBG的反射谱变化、控制腐蚀的时间，制得的探针具有亚微米级别的针尖尺寸和百微米长度的栅区。通过实验对探针的温度传感特性进行表征，虽然MNFBG探针的反射谱强度很低，仍具有较高的温度灵敏度（10.5 pm/℃）。同时，通过使用MNFBG探针测量热源，并反演反射光谱得到了探针尖端处的温度信息。MNFBG探针具有温度传感特性和满足高分辨率测量的微小尺寸。因此，MNFBG探针在近场区域的温度测量[15-16]方面也具有潜在的应用前景。