0 引言 

微波光子技术是研究高速光电子器件在微波系统中应用的一门学科[1-4]，已广泛应用于雷达、通信、干扰、电子战等领域[5-10]。受电信、军工设备小型化和集成化趋势的影响，高密度集成的阵列化微波光子模块在各领域的应用需求越发凸显，在未来的发展也显示出巨大的潜力[11-13]。目前，国内外仅有少量公司拥有成熟的微波光子产品，这些产品一般都是基于分立的单通道光电元器件组合而成的，虽然产品的部分性能指标比较优秀，但是产品存在通道数多、体积和功耗大、集成度低等问题。因此，本文设计一种基于微波光子混合集成封装技术的超紧凑封装光/电转换阵列模块（下文简称光/电转换阵列模块），降低产品体积和功耗，提高集成度。

3 结束语

本文设计了一种超紧凑光/电转换阵列模块，该模块采用混合集成微组装工艺制造，能够在同一封装中混合集成多路光学通道和微波功能电路。通过光路设计，模块的光/电转换效率大于等于0.8 A/W；通过微波电路设计，模块6个通道的S21的平均值为-3.5 dB左右,平坦度在±1.5 dB以内，SWR低于1.7，通道间幅度一致性小于1.5 dB；通过一体化封装结构设计，通道隔离度大于55 dB，模块尺寸为50 mm×28 mm×7 mm。该阵列模块工作带宽覆盖了2~18 GHz波段，实现了多通道光/电转换功能，具有体积小、重量轻、适用范围广等优点，解决了目前微波光子传输链路系统中分立的单通道器件过多而导致整个链路非常冗杂、占用空间大、不利于系统小型化的问题，在大容量微波光子传输系统内有着广泛的应用前景。