0 引言
       光纤法布里-珀罗（F-P）腔压力传感技术因具有灵敏度高、无源、易组网和抗电磁干扰等优点，受到了国内外学者的深入研究并得到了广泛应用。近年来，美国弗吉尼亚理工大学、英国赫瑞瓦特大学、德国光子技术研究所、成都电子科技大学、北京理工大学、西安交通大学和南京大学等[1-6]均开展了光纤F-P腔压力传感技术研究。基于膜片式的非本征型光纤F-P腔压力传感器通常由光纤和压力敏感膜片构成。此类型结构的压力传感器利用膜片直接感受外界气压变化，当敏感膜片受到外界压力作用产生形变，由此引起光纤F-P腔传感器的腔长改变，进而使传感器反射光谱发生移动，因此通过监测光谱的移动即可实现压力参量的传感。
　　 现有的光纤F-P腔传感器制备中，通常采用石英、单晶硅片及聚合物等材料制作敏感膜片[7-10]。对于石英通常采用磨抛等工艺来控制膜片厚度，传感器一致性控制较难；对于单晶硅片可以采用微电子加工工艺制备，对膜片厚度控制具有良好的一致性，但是其微加工工艺及传感器封装工艺较复杂；对于聚合物通常采用胶粘的方式进行F-P腔的制备，但是通常聚合物材料在耐高温性能方面不如石英和硅片，因此，应用场合具有一定的局限性。本文针对现有光纤F-P腔传感器膜片制备及材料的问题，提出基于氧化锆材料的压力敏感膜片[11]。

5 结束语
       本文使用氧化锆陶瓷套筒作为传感膜片，制备了膜片-空气隙-光纤F-P传感器，借助填充粘合剂的方式完成了传感器的封装，通过了0.5~4.0 MPa的压力测试，并追踪反射谱波形在1543.67 nm波谷处的漂移变化，绘制出了升压、降压条件下的波长-压力曲线图，实现了9.5 nm/MPa的压力灵敏度。这表明本文所提出的光纤传感器有望应用于航空航天、井下作业等压力场景。由于引入粘合剂的成分，在温度场下会使材料失去性能，故而限制了传感器在温度场景下的应用，因此在后续研究工作中，可尝试利用激光器定位精确、微加工可控的优势实现不同材料间的焊接，以进一步改善传感器的封装过程。